М. Али, Ю.Ю. Качурин, А.П. Кирьянов
6
Подставляя выражения (2)–(5) в соотношения (6) и (7), получаем
переменные составляющие интенсивности
( )
p
I
Δ Δϕ
и
( )
s
I
Δ Δϕ
на
фотоприемниках D11 и D12:
( )
(
)
2 2 2
2
;
p
ip p p p
I
E t r G
Δ Δϕ =
(9)
( )
(
)
2 2 2
2
,
s
is s s
s
I
E t r G
Δ Δϕ =
(10)
где
(
)
(
)
(
)
(
)
(
)
2
2
cos cos
sin
2 sin 2 cos
cos
;
p
ps
ps
G r
r
q
r
r
ζ
ζ η
η
ζ
ζ
η
η
=
α Δϕ − ϕ +
α Δϕ − ϕ +
⎡
⎤
+
α
Δϕ − ϕ + Δϕ −
Δϕ − ϕ + Δϕ
⎣
⎦
(
)
(
)
(
)
(
)
(
)
2
2
sin cos
cos
1 2 sin 2 cos
cos
;
s
ps
ps
G r
r
q
r
r
ζ
ζ η
η
ζ
ζ
η
η
=
α Δϕ − ϕ +
α Δϕ − ϕ +
⎡
⎤
+
α
Δϕ − ϕ + Δϕ −
Δϕ − ϕ + Δϕ
⎣
⎦
;
is s
ip p
E t
q
E t
=
.
ps
tp ts
Δϕ = ϕ − ϕ
Аналогично можно получить выражения для переменных состав-
ляющих интенсивности
( )
эт
p
I
Δ Δϕ
и
( )
эт
s
I
Δ Δϕ
в случае нормального
отражения излучения эталоном, установленным на месте образца
S
в
рабочей ветви интерферометра:
( )
эт
2 2 2
2
cos ;
p
p p p
I
E t r
Δ Δϕ =
Δϕ
(11)
( )
эт
2 2 2
s
2
cos .
s
s s
I
E t r
Δ Δϕ =
Δϕ
(12)
Зависимости (9) и (10) для образца
S
и (11) и (12) для эталона
нормируют, деля их на интенсивность
0
I
излучения на входе холоэл-
липсометра, и приводят к так называемым нормированным сигналам
( )
,
p
i
Δ Δϕ
( )
,
s
i
Δ Δϕ
( )
эт
,
p
i
Δ Δϕ
( )
эт
s
i
Δ Δϕ
вида
( )
0
( )
;
p
P
I
i
I
Δ Δϕ
Δ Δϕ =
( )
0
( ) ;
s
s
I
i
I
Δ Δϕ
Δ Δϕ =
(13)
( )
эт
эт
0
( )
;
p
p
I
i
I
Δ Δϕ
Δ Δϕ =
( )
эт
эт
0
( ) .
s
s
I
i
I
Δ Δϕ
Δ Δϕ =
(14)
Деление нормированных сигналов
( )
( , )
p s
i
Δ Δϕ
(13) для образца
S
на соответствующие амплитуды нормированных сигналов
( )
эт
( , )
p s
i
Δ Δϕ
