13
Исследования деградации резонансно-туннельных диодов ...
Макеев Мстислав Олегович
окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2007 г. Инженер
1-й категории УИЦ НТ НМСТ МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов:
наноэлектроника, нанодиагностика, спектральная эллипсометрия, надежность на-
ноэлектронных устройств. e-mail:
Иванов Юрий Александрович
окончил МГУ им. М.В. Ломоносова в 1960 г. Д-р
физ.-мат. наук, профессор кафедры «Технологии приборостроения» МГТУ им. Н.Э. Бау-
мана. Область научных интересов: нанотехнологии, наноэлектроника, нанодиагностика,
наноинженерия. e-mail:
Мешков Сергей Анатольевич
окончил МВТУ им. Н.Э. Бауманав в 1983 г. Канд.
техн. наук, доцент кафедры «Технологии приборостроения» МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Область научных интересов: нанотехнологии, надежность технических систем, на-
ноэлектроника. e-mail:
Литвак Юрий Николаевич
окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2010 г. Инженер
1-й категории УИЦ НТ НМСТ МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов:
нанотехнологии, нанодиагностика. e-mail:
Ветрова Наталия Алексеевна
окончила МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2004 г. Канд.
техн. наук, доцент кафедры «Технологии приборостроения» МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Область научных интересов: надежность технических систем, нанотехнологии.
e-mail:
