13
Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины акселерометра
1 1 cos
cos
1 cos
cos
cos
R r
r R
r
QC
r
.
Таким образом, формула для вычисления
CN
приобретает следую-
щий вид:
1 1 cos
cos
1 1 cos
cos
ctg
cos
sin
R
R
r
r
CN r
r
. (18)
Далее нужно решить треугольник
MNK
, чтобы найти из него ис-
комую величину стороны
KN.
Углы этого треугольника нам известны:
KNM
;
180
180 90
90
KMN
SME
;
180
90
90
MKN
.
Для определения
KN
из
MNK
мы должны знать величину
MN = MS – NS.
(19)
Найдем первую составляющую
MS
. Считаем заданными расстоя-
ния:
D
— от плоскости излучателя до центра карусели и
— от оси
установки до источника напыляемого материала. Тогда расстояние
SF
определится как
cos
D SF
R r
и далее
sin
cos
(
)
(
)
cos
sin
sin cos
D
D
SE SF EF
R r
R r
и
2
2
sin
cos
tg
(
) tg
cos
sin
cos (
)sin cos
cos
D
MS SE
R r
D
R r