Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра - page 7

7
Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины акселерометра
ожидаемой формы износа
U
притира является график, получаемый при
делении этих сумм на площади кольцевых зон (рис. 3,
б
).
Описанная процедура компьютерного моделирования формы износа
рабочей поверхности притира позволяет для каждого типоразмера дета-
лей оптимизировать размеры притира, т. е. выбирать его наилучшие вну-
тренний и наружный диаметры. Кроме того, появляется возможность для
притиров с оптимальными размерами рабочей поверхности добиваться
дополнительной равномерности изнашивания за счет варьирования из-
носостойкостью притира в различных кольцевых зонах — в зонах повы-
шенного расчетного износа применять материал инструмента повышен-
ной износостойкости. При этом в качестве материала притира применя-
ется пористый алмазный композит на органической связке [3].
Обеспечение равномерной толщины тонкопленочных покрытий.
Схема вакуумной установки представлена на рис. 4. Покрытие на деталь
наносят с помощью двух одинаковых магнетронов, расположенных сим-
метрично относительно вертикальной (сагиттальной) плоскости.
Свяжем с водилом карусели вакуумной установки систему коорди-
нат
XOY
, которая совершает вращательное движение с частотой
n
в
во-
круг точки
O
. С сателлитом планетарного механизма свяжем систему
координат
xoy
, совершающую вращательное движение с частотой
n
с
вокруг точки
o
. Деталь располагается параллельно оси
ox
на расстоянии
y
от нее. Распыляемая поверхность магнетрона расположена под углом
Рис. 4.
Схема вакуумной установки мод.
UniCOAT 600+:
1
— камера;
2
— дверь
камеры;
3
— магнетрон;
4
— водило ка-
русели;
5
— сателлит планетарного меха-
низма;
6
— напыляемая деталь
1,2,3,4,5,6 8,9,10,11,12,13,14,15,16,17,...23
Powered by FlippingBook