8
Г.Р. Сагателян, К.Л. Новоселов, А.В. Шишлов, С.А. Щукин
к фронтальной плоскости на рас-
стоянии
D
от оси вращения карусе-
ли. С источником распыления на-
пыляемого материала, расположен-
ным в точке
, свяжем систему
координат
. Эта точка распола-
гается на расстоянии
от оси сим-
метрии вакуумной камеры вдоль
оси
, соответствующей плоско-
сти мишени.
Предполагаем, что в произ-
вольной точке
A
поверхности дета-
ли толщина покрытия определяется
величиной:
2
cos cos
m
hK
, (7)
где
K
— коэффициент пропорциональности;
h
m
— максимум диаграм-
мы направленности распыления; ρ — расстояние от источника до рас-
сматриваемой точки; φ — угол направленности, соответствующий рас-
сматриваемой точке
A
; ε — угол падения для точки
A
.
Вначале рассмотрим неподвижное расположение детали (рис. 5). В
этом положении оси
OX
и
ox
и напыляемая поверхность детали параллель-
ны фронтальной плоскости. Искомые параметры для математической мо-
дели, а именно: 1) расстояние ρ от рассматриваемой точки
A
на поверх-
ности детали до точки Ω на распыляемой поверхности мишени; 2) угол
направленности φ от точки Ω на точку
A
; 3) угол падения распыляемого
вещества на поверхность детали ε — могут быть определены из рассмо-
трения треугольника
AK
Ω.
Рассчитаем входящие в формулу (7) величины ρ, φ и ε. Из рассмо-
трения
AK
Ω имеем:
2
2
2
2
2
cos(90 )
2
sin ,
A
K AK AK K
K AK AK K
(8)
где θ — угол наклона плоскости мишени к фронтальной плоскости
установки, в которой расположена напыляемая поверхность детали.
Этот конструктивный параметр установки можно считать заданным.
Рис. 5.
Схема для расчета распре-
деления толщины покрытия по на-
пыляемой поверхности детали при
неподвижном положении детали
