9
Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины акселерометра
Рассчитаем величину Ω
K
— стороны
АK
Ω Плоскость мишени и
фронтальная плоскость пересекаются в точке
F
. Тогда
tg ,
K F
(9)
при этом
F BF
,
причем χ
Ω
— конструктивный параметр установки, который также мож-
но считать заданным.
Далее имеем:
(
)
(
) cos
,
sin
sin
sin
o
o
o
o
D Y y
BC BO Y y
BF
где
D
— расстояние от плоскости мишени до центра вращения карусе-
ли;
Y
o
— расстояние от центра карусели до оси вращения приспособле-
ния детали;
y
o
— расстояние от оси вращения приспособления детали
до напыляемой поверхности. Конструктивные параметры
D
,
Y
o
и
y
o
могут считаться заданными.
Подставляя эти зависимости в формулу (9), имеем:
2
(
)
cos
tg
tg .
sin
cos
cos
o
o
o
o
D Y y
D Y y
K
(10)
Перейдем к расчету величины
AK
— другой стороны в
АK
Ω. Если
обозначить через
x
A
координату текущей рассматриваемой точки
A
, то
имеем:
AK = x
A
+ CK
. (11)
Очевидно, что
CK = EC
tgθ.
При этом
(
) .
sin cos
o
o
D
EC BE BC
Y y
