10
В.В. Холевин
[7] Гольдштейн Р.В., Осипенко М.Н. Химико-механическое полирование. Часть 2.
Модель локального взаимодействия.
Вестник Пермского Государственного
технического университета
, 2011, № 3, с. 43–57.
Статья поступила в редакцию 16.07.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Холевин В.В. Некоторые особенности планаризации поверхности подложек из-
делий микро- и наносистемной техники.
Инженерный журнал: наука и инновации,
2013,
вып. 6. URL:
Холевин Владимир Викторович
— канд. техн. наук, доцент кафедры «Радиоэ-
лектронные системы и комплексы» МГТУ им. Н.Э. Баумана. e-mail:
