7
Некоторые особенности планаризации поверхности подложек изделий ...
При постоянных угловых скоростях
1
и
2
вращения звеньев 1,
2 и непрерывной подаче абразивной суспензии поля величин
a
V
и
стационары, следовательно, можно предположить, что поле величин
P
(1)
при полировании также стационарно.
Это означает, что скорость изнашивания в произвольно выбранных
точках звеньев 1, 2 изменяется по периодическому закону. Поэтому для
определения величины износа в любой точке поверхности звена 2 за время
обработки
t
достаточно проинтегрировать выражение (4) от нуля до
t:
2
2
2 ,
t
ö
(11)
где
t
ц
2
— время одного цикла (полного оборота точки
a
i
вокруг точки
О
1
), а затем умножить полученный результат на число циклов за полное
время обработки:
2
2
.
2
t
n
ö
(12)
Таким образом, осуществляется замена переменной интегрирования
с
t
на
. На основании сделанных допущений соотношение
u
i
/
u
1
для
звена 2 приобретает следующий вид (при
1
(
R
) =
0
):
2
2
1
1
1
0
2
1 1
1
2
1
1 1
1
0
cos
cos
y
i
i
i
i
Ar B r
C
P r
u
P r
u
Ar B r
C
(13)
Формула (13), отражающая действие кинематических факторов,
была использована при расчете распределения величин износа при
ХМП подложек диаметром 100 мм. Зависимости распределения вели-
чин
u
i
/
u
1
вдоль радиуса подложки при фиксированной частоте вращения
полировальника (звено 1) и варьируемой частоте вращения звена 2 с
закрепленной на нем подложкой приведены на рис. 4. При проведении
расчетов сделано допущение об однородности поля давления и поля
плотности абразивной среды. Можно заметить, что распределение ве-
личин износа вдоль радиуса подложки существенно зависит от кине-
матических факторов, изменяясь от равномерного при плоскопарал-
лельном движении подложки по поверхности полировальника до силь-
но выраженного увеличения от центра к периферии подложки. Форма
обработанной поверхности подложки при этом становится выпуклой.
