4
В.В. Холевин
1
2
0 1
2
0
...
.
n
T
m m
m
i
n
u k A A A dt
(2)
Расчет распределения величин линейного износа по обрабатывае-
мой поверхности существенно облегчается, если известна или задана
величина линейного износа хотя бы в одной точке обрабатываемой
поверхности. Например, можно установить время обработки
Т
таким
образом, чтобы величина износа в некоторой избранной точке
a
1
, на-
пример в центре подложки, имела определенное значение, равное при-
пуску на обработку в этой точке. Тогда для расчета распределения ве-
личин линейного износа по обрабатываемой поверхности достаточно
провести расчет соотношений величин
u
i
/
u
1
.
Предлагаемая методика учитывает действие факторов первой и вто-
рой группы на распределение величин износа по обрабатываемой по-
верхности. Величина износа в любой произвольно выбранной точке
a
i
обрабатываемой поверхности может быть определена путем интегри-
рования по времени обработки выражения
0
(1)
, ,
, , pH, ,
du F k V P
T
dt
(3)
где
du
dt
— скорость абразивного изнашивания, мкм/c;
k
0
— постоянный
коэффициент;
V
— величина скорости абразивной среды относительно
изнашиваемой поверхности, м/с;
P
(1)
— давление, Н/м
2
;
— плотность
абразивной среды, кг/м
2
;
T
— температура обработки;
pH — водород-
ный показатель.
Формула (3) для каждой конкретной схемы и условий обработки
приводится к частному виду с учетом распределения величин
V
,
P
,
,
pH,
T
в зоне контакта обрабатываемой поверхности и инструмента.
Следует отметить, что процессы доводки и полирования имеют
статистическую природу, характеризуясь массовым динамическим воз-
действием абразивных зерен на обрабатываемую поверхность, поэтому
под символами
V
,
P
(1)
, ρ,
pH
,
T
подразумеваются средние значения ве-
личин в окрестности точки
a
i
.
При изменении во времени величин
P
(1)
,
,
V
и постоянных pH,
T
величина износа за время
t
может быть выражена как
0 (1)
0
.
t
y
u k P t
t V t dt
(4)
Для определения функций
P
(1)
(
t
), ρ(
t
),
V
(
t
) при заданном законе дви-
жения точки
a
i
, описываемом в полярной системе координат уравнени-
