3
Некоторые особенности планаризации поверхности подложек изделий ...
работать методику расчета распределения величин износа по обраба-
тываемой поверхности пластины в процессе обработки методами ХМП.
Очевидно, что при полировании ожидаемая форма обрабатываемой
поверхности будет полностью определена, если известна форма исход-
ной поверхности и распределение величин линейного износа по обра-
батываемой поверхности. Однако непосредственное определение вели-
чин линейного износа расчетным путем осложняется многообразием
факторов, влияющих на скорость изнашивания обрабатываемой поверх-
ности при механическом или химико-механическом полировании. При
решении задачи формообразования целесообразно разбить факторы,
влияющие на скорость изнашивания обрабатываемой поверхности, на
две группы.
В первую группу включают постоянные факторы, значения которых
одинаковы во всех точках обрабатываемой поверхности и предполага-
ются неизменными в течение всего временя обработки, например физи-
ко-механические свойства обрабатываемого материала и материала ин-
струмента, род и зернистость абразивной составляющей суспензии, со-
став и химическая активность жидкой фазы абразивной суспензии и др.
Во вторую группу входят факторы, являющиеся функциями време-
ни и координат (или только координат) произвольной точки
a
i
обраба-
тываемой поверхности, например величина скорости точки
a
i
относи-
тельно поверхности инструмента, величина давления, плотность абра-
зивной и химически активной среды, температура и т. п.
Выражение для скорости изнашивания обрабатываемой поверх-
ности может быть представлено в форме математической модели, полу-
чившей широкое распространение в теории резания [2]:
1
2
0 1
2
...
,
n
m m
m
n
du k A A A
dt
(1)
где
du
dt
— скорость абразивного изнашивания, мкм/c;
k
0
— постоянный
коэффициент, учитывающий действие постоянных факторов;
A
1
,
A
2
, …,
A
n
— факторы второй группы;
m
1
,
m
2
, …,
m
n
— показатели
степени.
Численные значения величины коэффициента
k
0
и показателей сте-
пеней
m
1
,
m
2
, …,
m
n
могут быть в результате проведенного многофак-
торного эксперимента. После экспериментального определения этих
значений величина износа в точке
a
i
за время обработки можно вычис-
лить путем интегрирования выражения (1):
