Некоторые особенности планаризации поверхности подложек изделий микро- и наносистемной техники - page 6

6
В.В. Холевин
Для определения функции
F
необходимо узнать распределение
плотностей абразивной среды вдоль границы зоны контакта де-
таль — инструмент (линия Г на рис. 3), т. е. граничные условия.
В работе были проведены расчеты распределения величин износа по
обрабатываемой поверхности для некоторых частных случаев. При рас-
чете было использовано допущение о симметрии поля давления абразив-
ной среды относительно центра условной детали (точка
О
1
на рис. 3).
Моделирование поля распределения плотности абразивной среды про-
водилось для граничных условий, заданных по линейному закону:
 
0
1
2
1
,
R
L R
L
 
(10)
где
L
1
,
L
2
— постоянные положительные параметры, имеющие размер-
ность длины.
Рис. 2.
Схема установки для ХМП
Г
Рис. 3.
Схема расчета распределения величин износа
1,2,3,4,5 7,8,9,10
Powered by FlippingBook