ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
9
случае контроль бесконтактный, поэтому даже при использовании ме-
тода переналожений опасность повреждения контролируемой поверх-
ности исключена.
Из данных, приведенных в таблице, следует, что расчетные зна-
чения остаточных волновых аберраций любого из вариантов фокуси-
рующего объектива малы: при автоколлимационном ходе лучей они
составляют от 0,02 до 0,07
λ
(
λ
— длина волны используемого излу-
чения). Поэтому данный интерферометр позволяет надежно выявлять
погрешности формы выпуклых сферических поверхностей размером
более 0,1 интерференционных полосы.
Очевидным недостатком предлагаемого интерферометра можно
считать экранирование центральной зоны сферического зеркала, вслед-
ствие чего на любой контролируемой поверхности образуется некон-
тролируемая зона. Для оценки размеров неконтролируемых зон введем
понятие «числовая апертура неконтролируемой зоны» — синус апер-
турного угла (sin
σ
н.з
) для луча, идущего из центра кривизны контроли-
руемой поверхности в край оправы эталон-компенсатора. В таком слу-
чае коэффициент
η
экранирования вычисляется по формуле
н.з
sin 100 %.
sin
σ
η
σ
=
⋅
Значения коэффициентов экранирования, полученные для каждо-
го из диапазонов, представлены в таблице: они не превышают 20 %.
Расчеты диаметров неконтролируемых зон, выполненные для ре-
альных выпуклых сферических поверхностей, показали, что они не
превышают 100 мм. Так как неконтролируемые зоны расположены в
центре поверхности, то информацию о погрешностях центральной
части можно получить путем наложения обычного пробного стекла
диаметром до 130 мм. Для измерения радиуса кривизны контролиру-
емой поверхности, такая операция выполняется.
Следует отметить, что регистрация рабочей интерференционной
картины и автоколлимационных точек, полученных при отражении
лучей от контролируемой и эталонной поверхностей, осуществляется
на координатные приемники излучения (матрицы ПЗС). Благодаря
этому изображения могут быть переданы на экран монитора и в си-
стему автоматизированной обработки измерительной информации.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1.
Справочник технолога-оптика / М.А. Окатов, Э.А. Антонов, А.В. Байго-
жин и др.; Под ред. М.А. Окатова. СПб.: Политехника, 2004. 679 с.
2.
Пуряев Д.Т. , Лазарева Н.Л. , Иконина А.В. Оптические системы
двухлучевых интерферометров. Ч. 2 / Под ред. Д.Т. Пуряева. М.: Изд-во
МГТУ им. Н.Э Баумана, 2005. 27 с.
3.
Dudenkova K. A. New Objective for Laser Interferometer // Proc IONS-8.
Moscow, 2010. P. 25—26.
Статья поступила в редакцию 16.10.2012
1,2,3,4,5,6,7,8 9