6
ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
струкция фокусирующего объектива имела недостатки: изготовление и
аттестация крупногабаритного асферического зеркала вызывают труд-
ности, а фокусирующий объектив не содержит в себе эталонной по-
верхности. Последнее обстоятельство затруднит юстировку интерферо-
метра — установку компенсатора в номинальное положение. Кроме то-
го, в оптическую систему такого интерферометра необходимо включать
эталонную деталь.
В предлагаемом варианте фокусирующего объектива измеритель-
ной ветви интерферометра используется сферическое зеркало большого
диаметра, причем его сферическая аберрация скомпенсирована одной
сферической преломляющей поверхностью сменного эталон-компен-
сатора, а эталонная поверхность не только создает эталонный волновой
фронт, но и участвует в юстировке интерферометра.
Исследования показали, что можно минимизировать количество
эталон-компенсаторов, разбив совокупность параметров всех изго-
тавливаемых контролируемых поверхностей на отдельные диапазо-
ны. Для определения оптимальных границ каждого из диапазонов
построена точечная диаграмма (рис. 3). Вертикальные линии на то-
чечной диаграмме выделяют четыре диапазона, в пределах которых
сгруппированы контролируемые поверхности с близкими значения-
ми радиусов кривизны. Анализ данных, представленных на диаграм-
ме, позволил сделать выбор оптимальных значений предметных рас-
стояний, которые затем использованы при расчетах фокусирующего
объектива измерительной ветви.
Рис. 3. Зависимость переднего апертурного угла эталон-компенсатора
от радиуса кривизны контролируемой сферической поверхности
В таблице представлены результаты расчетов параметров и ха-
рактеристик четырех вариантов измерительной ветви интерферомет-
ра, в которых фокусирующий объектив состоит из стационарного
сферического зеркала диаметром
D
З
= 1 200 мм с радиусом кривизны
r
З
= 2 500 мм и сменного эталон-компенсатора. Расчеты показали, что
1,2,3,4,5 7,8,9