8
ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
Рис. 4. Обобщенная схема фокусирующего объектива
Расчеты показали, что при использовании в измерительной ветви
интерферометра четырех вариантов фокусирующего объектива за
один прием можно проконтролировать форму 24 поверхностей, число-
вые апертуры которых не превышают значения 0,187. На диаграмме
(см. рис. 3) точки, символизирующие эти поверхности, располагаются
ниже горизонтальной линии. Поверхности, числовые апертуры кото-
рых больше 0,187, за один прием проконтролировать нельзя. В таких
случаях можно использовать метод переналожений. Например, самая
«апертурная» из известных выпуклых сферических поверхностей ха-
рактеризуется sin
σ
к.п
= 0,34 (точка, символизирующая эту поверхность
на рис. 3, расположена в диапазоне 1). Для контроля профиля одного
сечения этой поверхности на предлагаемом интерферометре потребу-
ется четыре переналожения. Заметим, что для контроля одного сече-
ния этой же поверхности на интерферометре ЮС-170 с пробным стек-
лом диаметром 220 мм также потребуется четыре переналожения
пробного стекла. Преимущество предлагаемого интерферометра по
сравнению с интерферометром ЮС-170 состоит в том, что в данном
1,2,3,4,5,6,7 9