ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
5
Рис. 2. Зависимость радиусов выпуклых сферических поверхностей от их
диаметра
Именно числовые апертуры контролируемых поверхностей опре-
деляют необходимый диапазон числовых апертур гомоцентрических
пучков, входящих в измерительную ветвь интерферометра. Числовые
апертуры выпуклых сферических поверхностей, подлежащих кон-
тролю, лежат в диапазоне 0,025…0,35. Совместный анализ парамет-
ров реальных выпуклых сферических поверхностей и их числовых
апертур, а также опыт изготовления высокоточных вогнутых сфери-
ческих зеркал позволили определить оптимальные параметры вогну-
того сферического зеркала: диаметр
D
З
= 1 200 мм, радиус кривизны
r
З
= 2 500 мм.
Поиск оптимальной конструкции идеального фокусирующего
объектива основывался на следующих принципах:
1) постоянным элементом объектива является вогнутое сфериче-
ское зеркало диаметром не более 1 200 мм с числовой апертурой 0,24;
2) сменные эталон-компенсаторы представляют собой простые
плоско-вогнутые или двояковогнутые линзы из бесцветного стекла
наиболее употребительных марок;
3) диаметры эталон-компенсаторов минимально возможные, так
как они экранируют центральную зону контролируемой поверхности.
В первоначальном варианте интерферометра нами проработан ва-
риант фокусирующего объектива на базе вогнутого эллиптического
зеркала [3]. То обстоятельство, что эллипсоид имеет пару оптически со-
пряженных анаберрационных точек, позволило обеспечить контроль
многих выпуклых поверхностей без использования компенсатора. В
этом случае вершина рабочего пучка лучей помещалась в одну из ана-
беррационных точек эллипсоида, а центр кривизны контролируемой
сферы — в другую точку. В тех случаях, когда указанный ход лучей не-
возможен, перед эллиптическим зеркалом был установлен компенсатор
его аберраций в виде подвижной плосковогнутой линзы (в компенсации
аберраций зеркала участвовали обе поверхности линзы). Такая кон-
мм
1,2,3,4 6,7,8,9