ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
7
в каждом диапазоне параметров контролируемых деталей необходим
свой эталон-компенсатор, который представляет собой двояковогну-
тую линзу из стекла К8. Эта линза установлена так, что центр кривиз-
ны ее первой по ходу лучей эталонной поверхности совмещен с зад-
ним фокусом объектива
6
(см. рис. 1). Для каждого из диапазонов кон-
тролируемых поверхностей толщина воздушного промежутка между
компенсирующей поверхностью эталон-компенсатора и сферическим
зеркалом вполне определена. Обобщенная схема фокусирующего
объектива, на которой даны обозначения его основных элементов и
параметров, показана на рис. 4. В таблице и на рис. 4 использованы
одинаковые обозначения: КП — контролируемая поверхность; Э —
эталонная поверхность; К — компенсирующая поверхность; З — по-
верхность сферического зеркала;
C
к.п
—
центр кривизны контролируе-
мой поверхности;
C
э
—
центр кривизны эталонной поверхности
интерферометра;
s —
удаление центра кривизны контролируемой
поверхности от сферического зеркала;
d
в
— толщина воздушного про-
межутка между сферическим зеркалом и эталон-компенсатором;
s'
—
удаление центра кривизны эталонной поверхности от самой поверхно-
сти;
D
з
и
D
к
—
световые диаметры зеркала и эталон-компенсатора;
σ
и
σ
'
— передний и задний апертурные углы крайних лучей, идущих
в измерительной ветви,
l
0
— остаточная волновая аберрация в измери-
тельной ветви при автоколлимационном ходе лучей;
r
к.п max
— макси-
мальный радиус кривизны выпуклой сферической поверхности, кон-
тролируемой в каждом из вариантов измерительной ветви; sin
σ
н.з
—
числовая апертура неконтролируемой зоны.
Параметры контролируемых поверхностей для различных вариантов
измерительных ветвей
Параметр
контролируемой
поверхности
Вариант измерительной ветви
s
, мм
–3 200
– 4 000
–5 000
–7 500
d
В
, мм
–1976,2
–1673,8
–1483,2,8
–1290,3
s'
, мм
–144,8
–371,7
–346,3
– 400,4
sin
σ
–0,187
– 0,135
–0,104
– 0,053
sin
σ
'
–0,146
– 0,152
–0,157
– 0,136
D
З,
мм
1 200
1 080
1040
800
D
К
, мм
43,7
85,5
112,5
111,2
l
0
,
λ
0,02
0,04
0,07
0,03
к
к.п max
,
мм
1 000
1 950
3 000
5 700
sin
σ
н.з
– 0,02
– 0,02
– 0,02
– 0,01
η
, %
10,7
14,8
19,23
18, 7
1,2,3,4,5,6 8,9