ISSN 2305-5626. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана: электронное издание. 2013
3
контролируемую поверхность. Остаточные аберрации фокусирующего
объектива измерительной ветви вносят в рабочий волновой фронт ис-
кажения, которые следует рассматривать как погрешности виртуально-
го пробного стекла. В таком случае вид рабочей интерференционной
картины будет определяться не только погрешностями формы контро-
лируемой поверхности, но и этими остаточными аберрациями. Характер
изгиба полос на рабочей интерференционной картине при остаточных
аберрациях фокусирующего объектива измерительной ветви всегда
аналогичен изгибу полос при зональной погрешности контролируемой
поверхности. Чтобы виртуальное пробное стекло было идеальным, же-
Рис. 1. Оптическая система интерферометра для измерения и контроля
формы выпуклых сферических поверхностей большого диаметра
1,2 4,5,6,7,8,9