Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя - page 8

Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, В.А. Рязанов, Чжо Вин Наинг
8
Кириллов Даниил Вячеславович — ассистент кафедры «Плазменные энергети-
ческие установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область деятельности и научных ин-
тересов: ионно-плазменные технологии, нанотехнологии, упрочняющие покрытия.
e-mail:kirillovdv@bmstu.com
Рязанов Виктор Аркадьевич — инженер кафедры «Плазменные энергетические
установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана. e-mail:rjzan@mail.ru
Чжо Вин Наинг — аспирант МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область деятельности и
научных интересов: ионно-плазменные технологии, износостойкие покрытия.
e-mail:kwn.bmstu@gmail.com