Оптимизация траектории движения катодного пятна…
7
Выводы.
Проведенный анализ профиля выработки катода торце-
вого дугового испарителя с изменяемой траекторией движения ка-
тодного пятна показал следующее:
1) для обеспечения приемлемой неравномерности выработки
необходимо уменьшать относительный шаг перемещения траектории
катодного пятна. Неравномерность профиля выработки менее 3 %
можно получить, если изменение радиуса движения катодного пятна
составляет не более 1/3 от ширины дорожки выработки;
2) с увеличением индукции арочного магнитного поля ширина
дорожки уменьшается, что приводит к необходимости уменьшать
шаг перемещения траектории катодного пятна.
Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ мол_а
№ 14-08-31354.
ЛИТЕРАТУРА
[1]
Кесаев И.Г., Пашкова В.В. Электромагнитная фиксация катодного пятна.
Журнал технической физики
, 1959, т. 29, № 3, с. 287–298.
[2]
Sethuraman S.K., Barrault М.R. Study of the Motion of Vacuum Arcs in High
Magnetic Field.
Journal of Nuclear Materials
, 1980, vol. 93–94, pp. 791–798.
[3]
Духопельников Д.В., Жуков А.В., Костин А.А. Управление движением
катодного пятна в линейных вакуумно-дуговых испарителях.
Упрочняю-
щие технологии и покрытия
, 2005, № 11, c. 45–49.
[4]
Береговский В.В., Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Щуренкова С.А.
Объемное содержание и дисперсный состав капельной фазы в покрытиях,
полученных вакуумно-дуговым методом на установке PLATIT π-80.
Упроч-
няющие технологии и покрытия
, 2009, № 1, c. 3–5.
[5]
Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Щуренкова С.А. Динамика движения
катодных пятен по поверхности катода в поперечном магнитном поле.
Инженерное образование
, 2012, № 01. URL:
256359.html doi:77-30569/256359 (дата обращения 18.06.2013).
[6]
Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А. Исследование профиля
выработки катода дугового испарителя с арочным магнитным полем.
Ин-
женерное образование
, 2012, № 11. URL:
482485.html doi:10.7463/1112.0482485 (дата обращения 18.06.2013).
Статья поступила в редакцию 19.06.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Рязанов В.А., Наинг Чжо Вин. Опти-
мизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности
выработки катода вакуумного дугового испарителя.
Инженерный журнал:
наука и инновации
, 2013, вып. 10. URL:
machin/plasma/1042.html
Духопельников Дмитрий Владимирович
— канд. техн. наук, доцент кафедры
«Плазменные энергетические установки» МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область дея-
тельности и научных интересов: ионно-плазменные технологии, электрические
ракетные двигатели, нанотехнологии. e-mail:
