Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя - page 4

Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, В.А. Рязанов, Чжо Вин Наинг
4
В нашем случае это будет изменение радиуса кругового движения ка-
тодного пятна на определенное расстояние Δ
r
, которое в свою очередь
должно выбираться в зависимости от режима работы дугового испари-
теля.
a
б
Рис. 3.
Зависимость ширины дорожки катодных пятен:
а
— от индукции магнитного поля (ток разряда
I
p
, А, указан в рамке);
б
— от тока
разряда (индукция магнитного поля
В
, мТл, указана в рамке)
1,2,3 5,6,7,8
Powered by FlippingBook