Оптимизация траектории движения катодного пятна…
5
Рис. 4.
Кривая Гаусса, описывающая профиль выработки катода:
H
0
— максимальная глубина выработки;
R
— радиус максимальной выработки;
— среднее квадратическое отклонение;
W
— ширина зоны выработки
При многократном смещении радиуса кругового движения ка-
тодного пятна на расстояние Δ
r
профиль выработки катода
( )
Н r
будет являться суммой профилей выработки
( ),
i
Н r
полученных при
фиксированной траектории движения катодного пятна c радиусом
R
i
:
2
0
2
(
)
( )
( )
( ) exp
,
2
i
i
i
i
i
i
r R
H r
H r
H R
(5)
где
.
i
R R i r
Если считать, что максимальная глубина выработки
H
0
i
(
R
i
) оди-
накова для всех траекторий с радиусом
R
i
и равна
H
0
, то для суммар-
ного профиля можно записать
2
0
2
(
)
( )
exp
.
2
i
i
r R
H r H
(6)
Пример профиля, рассчитанного по выражению (6), показан на
рис. 5. Неравномерность выработки
на участке от
R
1
до
R
2
будем
определять как
max
min
,
H H
H
(7)
где
H
max
и
H
min
— максимальная и минимальная глубина выработки;
2 1
1
( )
H
H r dr
R R
— средняя глубина выработки.
