Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, В.А. Рязанов, Чжо Вин Наинг
2
В работе [6] изучалось влияние значения индукции арочного
магнитного поля на ширину и форму выработки катода дугового ис-
парителя. Дуговой испаритель был оснащен электромагнитной си-
стемой, состоящей из двух катушек, которая создает на поверхности
катода арочное магнитное поле и позволяет изменять значение и рас-
пределение магнитного поля на поверхности катода. Меняя соотно-
шение токов в катушках магнитной системы, можно было изменять
кривизну линий арочного магнитного поля и радиус кругового дви-
жения катодного пятна (рис. 1). Подобные схемы достаточно просто
реализовать с помощью современных микропроцессорных систем
управления питанием магнитных катушек.
Рис. 1.
Различные конфигурации магнитных силовых линий
для управления положением катодного пятна:
1
— катод;
2
— анод;
3
,
4
— магнитные катушки;
5
— магнитопровод;
6
— маг-
нитные силовые линии;
7
— положение катодного пятна
Катодное пятно в выбранном режиме (при неизменном соотно-
шении токов в электромагнитных катушках) двигалось по окружно-
сти определенного диаметра, вырабатывая материал катода и созда-
вая профиль выработки. На рис. 2 приведены типичные траектории
движения катодного пятна.
а
б
Рис. 2.
Траектории движения катодного пятна (ток разряда
I
p
= 100 А,
индукция магнитного поля
B
= 5 мТл):
а
— фиксированное положение катодного пятна;
б
— сканирование поверхности
катода катодным пятном
