Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, В.А. Рязанов, Чжо Вин Наинг
6
Рис. 5.
Профиль выработки катода при дискретном изменении радиуса
движения катодных пятен на
r
Для оценки влияния шага перемещения катодного пятна
r
на не-
равномерность выработки катода удобно использовать безразмерную
величину
k
, которая показывает, насколько отличается шаг перемеще-
ния от среднего квадратического отклонения профиля выработки:
.
r k
(8)
Будем называть эту величину относительным шагом перемещения
траектории катодного пятна. Очевидно, что увеличение значения
k
приведет к росту неравномерности выработки катода.
Из рис. 6 видно, что неравномерность выработки катода менее
3 %
можно получить, если
k
не превышает значения 2. Таким образом, для
обеспечения хорошей равномерности выработки катода смещение тра-
ектории катодного пятна должно быть не более 1/3 ее ширины.
Рис. 6.
Зависимость неравномерности выработки катода
от относительного шага перемещения траектории катодного пятна
k
0
