Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
Опубликовано: 10.10.2013
Авторы: Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.
Опубликовано в выпуске: #5(17)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-5-754
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Вакуумная и компрессорная техника