Течение газа в спиральном канале молекулярного вакуумного насоса
Опубликовано: 03.12.2012
Авторы: Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.
Опубликовано в выпуске: #7(7)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-7-274
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Вакуумная и компрессорная техника
Приведены исследования течения газа в проточной части молекулярного вакуумного насоса (МВН) в вязкостном режиме течения газа. Проведен выбор и обоснование метода расчета МВН.
Литература
[1] Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Модель молекулярно-вязкостного вакуумного насоса в условиях низкого вакуума // Конверсия в машиностроении. – 2007. – № 4; 5 – С. 85–88
[2] Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Расчет откачной характеристики МВВН в вязкостном режиме течения // Сб. тр. I Всероссийской студенческой научно-практической конференции «Вакуумная, компрессорная техника и пневмоагрегаты». Москва, 2008
[3] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Модель ламинарного течения газа в тонких каналах с подвижной стенкой // Компрессорное и энергетическое машиностроение. – 2009. – № 4
[4] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Расчет параметров течения газа в тонких каналах с подвижной стенкой // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. – 2009. – № 4. – 10 с.
[5] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Теоретические характеристики МВВН при течениигаза со скольжением // Сб. тр. Всерос. конф. молодых ученых и специалистов «Будущее машиностроения России». МГТУ им. Н.Э. Баумана. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. – 332 с.
[6] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Математическая модель молекулярно-вязкостного вакуумного насоса при течении со скольжением // Материалы VI Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» / под ред. д-ра техн. наук, проф. С.Б. Нестерова. – М.: НОВЕЛЛА, 2011
[7] Gaede W. Die Molekularluftpumpe // Annalen der Physik. – 1913. – B. 41. – S. 337–380
[8] Giors S., Subba F., Zanino R. Navier–StokesmodelingofaGaedepump stage in the viscous and transitional flow regimes using slip-flow boundary conditions // J.Vac. Sci. Technol. A. – Vol. 23. – No. 2. – Mar/Apr. – 2005. – Р. 336–346
[9] Giors S.,Colombo E., Inzoli F.,Subba F., Zanino R. Computational fluid dynamic model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition regimes // J.Vac. Sci. Technol. A. – Vol. 24. – No. 4. – Jul/Aug. – 2006. – Р. 1584–1591
[10] Sharipov F., Fahrenbach P., Zipp A. // J. Vac. Sci. Technol. A 23. 1331. – 2005
[11] Cerruti R., Spagnol M., Helmer J. C. Power dissipation turbomolecular pumps at high pressure // J. Vac. Sci. Technol. A 17 (5). – 3096 р. – 1999
[12] Helmer J. C., Levi G. // J.Vac. Sci.Technol. A 13. –2592 р. – 1995
[13] Daily J. W., Nece R.E. // J. BasicEng.82.–217 р. – 1960
[14] Boulon O., Mathes R. Flow modelling of a Holweck pump stage in the viscous regime // Vacuum 60. 73. – 2001
[15] Mongodin G., Prevot F. Etude experimentale une pompe moleculare rotative // Le Vide. – 1956. – Vol. 61. – Р. 3–13
[16] Mercier C., Benoist P. Report CEA 560, Nuclear Studies Center, Saclay, France (1956)
[17] Mercier C, Benoist P.// J. Phys. RadiumSuppl. – 1956. – Vol. 17. – No. 11. – P. 182A
[18] Gajeqski P., Hecsy n ski R. Teoria mechaniszncy pompy molecularney // IPPT PAN Warszawa, 1971. – 38 s.
[19] Jacobs R. B. // J . Appl. Phys. 22. 217. – 1951
[20] Beams J. W. // Science –130. 1406. –1959
[21] Panos C.N., Antoniou A.G., Valamontes S.E. The helicoid multi-groove vacuum pump in both viscous and molecular states // Vacuum. – 1994. – Vol. 45. – No. 8. – Р. 841–847
[22] Nanbu K., Kubota H., Igarashi S., Urano C., Enosawa H. Performance of spiral grooves on a rotor of turbomolecular pump // Trans. JSME. – 1991. – Vol. 57; No. 533. – Р. 79–86, 172–177
[23] Niu Y. Y. Navier–Stokes analysis of gaseous slip flow in long grooves // Numerical Heat Transfer. Part A. – 1999. – Vol. 36. – No. 1.– Р. 75–93
[24] Cheng H. P., Jou R. Y., Chen F. Z., Chang Y. W., Iwane M., Ha-n a o k a T. Three-dimensional flow analysis of spiral-grooved turbo booster pump in slip and continuum flow // Vac. Sci. Technol. A. – 2000. – Vol. 18. – No. 2. – Р. 543–551
[25] Hwang Y.-K., Heo J.-S. Molecular transition and slip flows in rotating helical channels of drag pump // AIP Conf. Proc. – 2001. 585. 893
[26] Sawada T. Rarefied Gas flow in a rectangular groove facing a moving wall // Sci. Papers oflPCR. – 1976. – Vol. 70., – No. 4
[27] Sickafus E. N., Nelson R. B., Lowry R. A.The Howleck type molecular pump. Conites. Redus // C.R. Acad. Sci. – 1923. – 177–43
[28] Saburo Igarashi. 3D Flow Simulation of a Spiral-Grooved Turbo-Molecular Pump. American Institute of Physics, 2001
[29] Sawada T. Vacuum sealing with a spiral grooved gas dynamic seal // Bull of the ISME. – 1979. –169. – P. 974–981