Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
Авторы: Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.
Опубликовано в выпуске: #5(17)/2013
DOI: 10.18698/2308-6033-2013-5-754
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Вакуумная и компрессорная техника
Для обеспечения безмасляной откачки вакуумных систем, определяемой многообразием технологических процессов, проводимых в условиях вакуума, в которых играет ведущую роль выбор средств системы откачки, в данной работе проведен анализ основных принципов выбора высоковакуумной системы откачки в зависимости от условий эксплуатации. Приведены основные конструкции современных комбинированных (гибридных) турбомолекулярных вакуумных насосов. В исследуемых комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форвакуумных ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части. Проведен анализ перспектив развития исследуемых насосов. В качестве альтернативы использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом преимуществ по сравнению с молекулярными проточными частями. Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. Расчетные данные приведены для всей проточной части молекулярного вакуумного насоса с учетом влияния зазора между статором и ротором насоса.
Литература
[1] Вакуумная техника: справочник. Москва, Машиностроение, 2009
[2] Каталог фирмы Varian. Inc. Vacuum Technologies
[3] Giors S., Subba F., Zanino R. 'Navier — Stokes modeling of a Gaede pump stage in the viscous and transitional flow regimes using slip-flow boundary conditions'. J. Vac. Sci. Technol, A, vol. 23, N 2, 2005
[4] Giors S., Colombo E., Inzoli F., Subba F., Zanino R. Computational fluid dynamic model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition regimes. I. Vacuum performance. J. Vac. Sci. Technol, A, vol. 24, 4, 2006
[5] Cozza I.F., Campagna L., Emelli E. A kinetic Approach in Modelling Compact Siegbahn Molecular Drag Stages: Physical and Numerical Aspects. 64th IUVSTA Workshop on Practical Applications and Methods of Gas Dynamics for Vacuum Science and Technology, 2011
[6] Dolcino L. A new Technology for high performance Turbomolecular-Drag Pumps. IUVSTA Workshop on Practical Applications and Methods of Gas Dynamics for Vacuum Science and Technology, 2010
[7] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Расчет параметров течения газа в тонких каналах с подвижной стенкой. Вестник МГТУ, сер. Машиностроение. Москва, Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009, вып. 4
[8] Демихов К.Е, Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Теоретические характеристики МВВН при течении газа со скольжением, "Будущее машиностроения России. Сб. тр. всерос. конф. молодых ученых и специалистов/ Московский Государственный Технический Университет МГТУ им. Н.Э. Баумана. Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011, 332 с.
[9] Демихов К.Е, Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Математическая модель молекулярно-вязкостного вакуумного насоса при течении со скольжением. Вакуумная техника, материалы и технология. Мат. VI Международной научно-технической конференции. С.Б. Нестеров, ред Москва, Новелла, 2011
[10] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В., Антипов И.А. Измерение температуры проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса. Известия вузов. Машиностроение, № 10, 2011
[11] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Исследование течения газа в канале МВН в вязкостном режиме течения. Известия вузов. Машиностроение, 2012
[12] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Течение газа в спиральном канале молекулярного вакуумного насоса. Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Машиностроение, 2012
[13] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Вакуумная техника, материалы и технология. Мат. VIII Международной научно-технической конференции. Нестеров С.Б., ред. Москва, Новелла, 2013, с. 111-118