Течение газа в спиральном канале молекулярного вакуумного насоса
Опубликовано: 03.12.2012
Авторы: Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.
Опубликовано в выпуске: #7(7)/2012
DOI: 10.18698/2308-6033-2012-7-274
Раздел: Машиностроение | Рубрика: Вакуумная и компрессорная техника