А.В. Перчик, В.Л. Толстогузов, К.В. Стасенко, В.Г. Цепулин
8
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Перчик А.В., Толстогузов В.Л., Стасенко К.В., Цепулин В.Г. Метод измерения
распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического видеоспек-
трометра.
Инженерный журнал: наука и инновации
, 2013, вып. 9.
URL:
Перчик Алексей Вячеславович
окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2004 г. Канд.
техн. наук, старший научный сотрудник НОЦ «Фотоника и ИК-техника», заведу-
ющий лабораторией акустооптических спектральных устройств и систем. e-mail:
Толстогузов Виктор Леонидович
окончил МГТУ им. Н.Э. Баумана в 2004 г.
Научный сотрудник НОЦ «Фотоника и ИК-техника», заведующий лабораторией
микрооптоэлектромеханических систем. e-mail:
Стасенко Кристина Владимировна
— студентка 6-го курса кафедры «Лазерные и
оптико-электронные системы» МГТУ им. Н.Э. Баумана.
e-mail:
Цепулин Владимир Германович
— студент 6-го курса кафедры «Лазерные и оп-
тико-электронные системы» МГТУ им. Н.Э. Баумана. e-mail:
