Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического…
7
Рис. 4.
Спектры отражения:
1
— экспериментальный;
2
— промоделированный
Рис. 5.
Спектральные зависимости показателя преломления от длины волны
падающего излучения:
1
— справочная;
2
— экспериментальная
справочная (кривая
1
) и экспериментальная (кривая
2
) спектральные
зависимости показателя преломления — на рис. 5.
Видно, что теоретические и экспериментальные данные совпада-
ют — это позволяет сделать вывод об адекватности разработанного
метода. Незначительное расхождение зависимостей коэффициента
отражения в области коротких волн может быть обусловлено силь-
ным рассеянием на зернистой структуре материала исследуемого об-
разца. Полученное значение толщины пленочного покрытия состав-
ляет 298,8 нм, измеренное другими методами — 300 нм.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Пустовойт В.И., Пожар В.Э. Акустооптические спектральные устройства:
состояние и перспективы
. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Прибо-
ростроение
, 2011, № S2, с. 6–15.
[2] Балакший В.И., Парыгин В.И., Чирков Л.И.
Физические основы акустооп-
тики
. Москва, Радио и связь, 1985, 280 c.
[3] Мазур М.М., Пожар В.Э., Пустовойт В.И., Шорин В.Н.. Двойные акусто-
оптические монохроматоры.
Успехи современной радиоэлектроники
, 2006,
№ 10, с. 19–30.
[4] Борн М., Вольф Э.
Основы оптики.
Москва, Наука, 1973, 720 c.
Статья поступила в редакцию 03.07.2013
