А.В. Перчик, В.Л. Толстогузов, К.В. Стасенко, В.Г. Цепулин
4
Комплексные значения коэффициентов отражения можно пред-
ставить в виде
12
12
12
exp(
);
r
i
⊥
⊥
⊥
= ρ
ϕ
||
||
||
12
12
12
exp(
).
r
i
= ρ
ϕ
Аналогичные выражения можно записать и для второй границы
раздела сред — пленка—подложка. Углы
2
θ
и
3
θ
могут быть найде-
ны из закона Снеллиуса. Следует учитывать, что
2
cos
θ
— комплекс-
ная величина для сред с
0.
k
≠
Коэффициент отражения по интен-
сивности (отражательная способность) от тонкой металлической
пленки на неметаллической подложке для составляющей, поляризо-
ванной перпендикулярно плоскости падения пучка, определяется по
известной формуле [4]:
2
2
2
2
12 23
23
12
2
12
23
2 2
2
2
12 23
23
12
2
12 23
exp(2 )
exp( 2 ) 2
cos (
2 )
,
exp(2 )
exp( 2 ) 2
cos (
2 )
v
v
u
R
v
v
u
⊥
⊥
⊥ ⊥
⊥ ⊥
⊥
⊥ ⊥
⊥ ⊥
⊥ ⊥
ρ
η +ρ
− η + ρ ρ
ϕ −ϕ + η
=
η +ρ ρ
− η + ρ ρ
ϕ +ϕ + η
где
2 .
d
π η =
λ
Индекс «12» соответствует первой границе раздела сред (воз-
дух—пленка), индекс «23» — второй (пленка—подложка).
Выражение для отражательной способности составляющей излу-
чения, поляризованной параллельно плоскости падения
||
R
, можно
получить, заменив
12
,
⊥
ρ
23
,
⊥
ρ
12
⊥
ϕ
и
23
⊥
ϕ
на
|12|
,
ρ
|23|
,
ρ
|12|
ϕ
и
|23|
.
ϕ
Отражательная способность излучения, поляризованного под углом
α
к плоскости падения,
2
2
||
cos
sin .
R R
R
⊥
=
α +
α
Из приведенных выше выражений следует, что отражательная
способность определяется следующими параметрами: длиной волны
падающего излучения, показателем преломления, коэффициентом
экстинкции, толщиной пленки, поляризацией и углом падения излу-
чения. Считая известными угол падения, поляризацию и длину волны
излучения, можно определить остальные параметры, проведя изме-
рения отражательной способности для разных длин волн.
Для достаточно сильно различающихся длин волн следует учи-
тывать дисперсию материала. Значения
n
2
и
k
2
можно аппроксимиро-
вать полиномами
3
2
2
( )
;
A
C
n
D B
λ = + + +
λ λ λ
