Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического…
1
УДК 534:535
Метод измерения распределения толщин
ITO-покрытий с помощью акустооптического
видеоспектрометра
© А.В. Перчик, В.Л. Толстогузов, К.В. Стасенко, В.Г. Цепулин
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и мето-
дика определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных по-
крытий.
Ключевые слова:
акустооптика, акустооптический фильтр, видеоспектрометр,
ITO-покрытие.
Введение.
Токопроводящие пленочные покрытия широко ис-
пользуются при производстве прозрачных электродов жидкокристал-
лических экранов, органических светодиодов (OLED) и сенсорных
экранов (Touchscreen). Для нанесения таких покрытий необходим
прозрачный в видимой области материал, электрическая проводи-
мость которого сравнима с проводимостью металлов. Подобными
свойствами обладает оксид индия-олова (англ
. indium tin oxide
или
ITO), представляющий собой твердый раствор, содержащий 90 % ок-
сидов индия (III) и 10 % олова (IV). Контроль качества поверхности
таких покрытий (наличие или отсутствие царапин, сколов, неравно-
мерности нанесения, разрывов дорожек) является важной задачей
при их производстве, поскольку наличие дефектов может оказать
негативное влияние на характеристики индикаторов.
В данной работе на основе акустооптического фильтра изобра-
жений создана экспериментальная установка для определения про-
странственного распределения толщин тонких пленочных ITO-по-
крытий бесконтактным спектральным оптическим методом.
Акустооптический фильтр изображений.
Акустооптические
видеомонохроматоры предназначены для выделения из светового по-
тока с широким спектром узкого спектрального диапазона и пере-
стройки центральной длины волны этого диапазона в соответствии с
управляющим сигналом [1]. Для фильтрации используется селектив-
ность анизотропного брэгговского рассеяния света на акустической
волне. Принцип работы акустооптического фильтра заключается в
том, что длины волн света и ультразвука связаны с углом падения
светового пучка на акустический волновой фронт условием Брэгга.
