Стр. 1 - А.С. Гончаров, М.С. Ковалев, А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов - Исследование параметров микрооптических и дифракционных элементов с помощью технологии корреляционной микроскопии Shuttle and Find
Упрощенная HTML-версия
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
151
УДК: 53.086
А.С. Гончаров, М.С. Ковалев,
А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов
ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ
МИКРООПТИЧЕСКИХ И ДИФРАКЦИОННЫХ
ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ
КОРРЕЛЯЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ
SHUTTLE AND FIND
Исследовано совместное использование оптической и электронной
микроскопии для комплексного изучения параметров микроопти-
ческих и дифракционных элементов. В качестве исследуемого об-
разца использован микролинзовый растр. Разработана методика
для контроля параметров образцов микрооптических и дифракци-
онных элементов.
E-mail:
Ключевые слова:
сканирующая электронная микроскопия, оптическая
микроскопия, корреляционная микроскопия, микролинзовый растр.
В современной оптике разработка дифракционных оптических
элементов (ДОЭ) с бинарным и многоуровневым поверхностным ре-
льефом, получаемых методами лазерной и электронно-лучевой лито-
графии, а также приборов и устройств на их основе имеют большое
практическое значение [1, 2].
При разработке новых усовершенствованных методов контроля
ДОЭ к ним предъявляется ряд требований: наряду с бесконтактно-
стью и дистанционностью измерений, они должны иметь широкий
диапазон измерений (от нескольких мкм до нескольких сантиметров),
высокое разрешение (от 100 нм, что достижимо только на электрон-
ном микроскопе, до 1 мкм) и высокое быстродействие.
Исследование рельефа поверхности и геометрических параметров
ДОЭ оптическими бесконтактными методами в автоматическом ре-
жиме является важной задачей как лабораторных исследований, так и
контроля промышленной продукции. Широкое использование нано-
технологий и наноматериалов, постоянно растущие требования по
контролю качества изделий машиностроения, электроники и точной
механики обусловливают перспективность корреляционной микро-
скопии как одного из направлений современного приборостроения.
Корреляционная микроскопия — это новая технология, позво-
ляющая объединить в одном цикле исследование образцов под оп-
тическим и электронным микроскопами. Результаты, полученные на
микроскопах Zeiss Axio Imager Z2 Vario и Zeiss EVO MA 10, можно
совмещать. В процессе исследования при сканировании крупнораз-
