Стр. 4 - А.С. Гончаров, М.С. Ковалев, А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов - Исследование параметров микрооптических и дифракционных элементов с помощью технологии корреляционной микроскопии Shuttle and Find
Упрощенная HTML-версия
154
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
Рис. 1. Изображение микролинзового растра, полученное на оптиче-
ском микроскопе Zeiss Axio Imager Z2
Рис. 2. Топограмма поверхности микролинзового растра, полученная
на оптическом микроскопе Zeiss Axio Imager Z2
Проведение исследований дифракционных и микрооптиче-
ских элементов с помощью электронного микроскопа.
Существу-
ет два принципиально различающихся подхода при исследовании по-
верхности оптических деталей. Различие заключается в проводимо-
сти исследуемой поверхности. Если поверхность изготовленных
дифракционных и микрооптических элементов формируется в стек-
ле, то необходимо использовать малые значения ускоряющего
