156
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
Функциональные возможности программы позволяют наложить
два изображения друг на друга с целью определения качества полу-
чаемой поверхности рельефа. Результат наложения приведен на
рис. 4. Изображения микролинз получились достаточно четкими, в
центре видны значительные неровности рельефа.
Результаты исследования.
На примере исследования микролин-
зового растра разработана методика контроля параметров микрооп-
тических элементов с помощью технологии корреляционной микро-
скопии Shuttle and Find. Использование данной технологии суще-
ственно расширяет возможности исследования дифракционных и
микрооптических структур, объединяя все преимущества оптической
и электронной микроскопии и позволяя точно совмещать изображе-
ния исследуемой области, полученные на разных микроскопах, для ее
всестороннего изучения. Так, например, на оптическом микроскопе
можно контролировать геометрические параметры микролинз, а ка-
чество поверхности линзы и дефектов полученного растра — на
электронном микроскопе. Данная технология является достаточно
перспективной для проведения контроля при изготовлении дифрак-
ционных и микрооптических элементов, контроля защитных голо-
грамм, а также для использования в материаловедении.
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства
образования и науки РФ в рамках выполнения государственного кон-
Рис. 4. Наложенные изображения микролинзового растра, получен-
ные на оптическом и электронном микроскопах
1,2,3,4,5 7