ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
155
напряжения и малую энергию пучка. Это приводит к ухудшению ка-
чества получаемого изображения поверхности и накладывает огра-
ничения на время работы с образцом.
Для улучшения качества изображения на стеклянную поверх-
ность изготовленных дифракционных и микрооптических элементов
наносили слой серебра толщиной 100 нм. В вакуумную камеру уста-
навливали специализированный предметный столик и проводили ка-
либровку координат. Для исследования ранее определенной области
микролинзового растра использовалась технология корреляционной
микроскопии Shuttle and Find.
С помощью программного обеспечения открывается сохраненное
на оптическом микроскопе изображение, считываются координаты и
увеличение. Автоматизированное устройство обеспечивает переме-
щение предметного столика таким образом, чтобы изображение по-
верхности микролинзового растра соответствовало изображению на
оптическом микроскопе. Изображение, полученное с помощью элек-
тронного микроскопа, приведено на рис. 3. Как видно на рис. 3, до-
вольно сложно измерить диаметры отдельных микролинз, при этом
хорошо видны дефекты поверхности и пыль (яркие пятна). Образо-
вание черных пятен свидетельствует о наличии значительных неров-
ностей поверхности, т. е. не обеспечивается глубина резкости для
наведения на поверхность исследуемого образца с высокой точно-
стью.
Рис. 3. Изображение микролинзового растра, полученное на элек-
тронном микроскопе Zeiss EVO MA 10
1,2,3,4 6,7