Стр. 2 - А.С. Гончаров, М.С. Ковалев, А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов - Исследование параметров микрооптических и дифракционных элементов с помощью технологии корреляционной микроскопии Shuttle and Find

152

ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012

мерных объектов или построении топограмм поверхностного рель-

ефа удобно использовать оптический микроскоп, но в том случае,

когда требуется высокое разрешение, образец можно перенести под

электронный микроскоп; специально разработанный держатель об-

разцов, система адаптеров и программное обеспечение за считанные

секунды автоматически позволят навести прибор на исследуемую

область, а затем совместить результаты исследований, проведенных

с помощью разных микроскопов. Это существенно экономит время

исследований и открывает новые возможности в области оптики,

материаловедения и т. п.

При проведении исследований были решены следующие задачи:

1) исследование геометрических параметров дифракционных оп-

тических элементов с помощью оптической и электронной микро-

скопии, получаемых методами лазерной и электронно-лучевой лито-

графии;

2) построение топограмм поверхностного рельефа дифракцион-

ных и микрооптических элементов;

3) выявление преимуществ технологии корреляционной микро-

скопии Shuttle and Find для исследования параметров и контроля ди-

фракционных и микрооптических элементов;

4) разработка методики контроля качества изготовления дифрак-

ционных и микрооптических элементов с помощью технологии кор-

реляционной микроскопии Shuttle and Find.

Ниже приведены несколько примеров использования корреляци-

онной микроскопии.

Изготовление дифракционных элементов с помощью элек-

тронно-лучевой литографии.

После извлечения образца из вакуум-

ной камеры установки и проявления электронного резиста необходи-

мо провести первичный анализ качества рельефа полученной по-

верхности. Для этого удобно использовать оптический микроскоп,

так как исследование на электронном микроскопе занимает довольно

продолжительное время вследствие необходимости достижения вы-

сокого вакуума. Однако исследование может быть затруднено из-за

больших размеров подложки и малой области экспонирования. Про-

граммное обеспечение, необходимое для корреляционной микроско-

пии, позволяет запоминать координаты исследуемой области и зна-

чительно сокращает время поиска требуемой области на оптическом

микроскопе.

Построение топограмм поверхностного рельефа дифракцион-

ных и микрооптических элементов.

Функциональные возможности

электронного микроскопа ограничены за счет плоского изображения

исследуемой поверхности. Использование оптического микроскопа

позволяет построить топограммы требуемых областей, а также про-