12 / 14
М.В. Макарова, К.М. Моисеев
12
Инженерный журнал: наука и инновации
# 1·2018
ных интересов: технология формирования тонкопленочных структур в вакууме,
реактивное магнетронное высокочастотное распыление, ионно-лучевая обработка,
вакуумное технологическое оборудование, функциональные покрытия в инноваци-
онных устройствах. e-mail:
mkm430@ya.ru