Проблемы формирования толстых слоев олова методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени
Опубликовано: 17.01.2018
Авторы: Макарова М.В., Моисеев К.М.
Опубликовано в выпуске: #1(73)/2018
DOI: 10.18698/2308-6033-2018-1-1717
Раздел: Металлургия и материаловедение | Рубрика: Материаловедение в машиностроении