Инженерный журнал: наука и инновацииЭЛЕКТРОННОЕ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ИЗДАНИЕ
свидетельство о регистрации СМИ Эл № ФС77-53688 от 17 апреля 2013 г. ISSN 2308-6033. DOI 10.18698/2308-6033
  • Русский
  • Английский
Авторы
Макарова М.В.

Макарова М.В.

Mail:

МГТУ им. Н.Э. Баумана
Москва, Россия

Макарова Мария Владимировна - студентка 2-го курса магистратуры, кафедра "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов: технология формирования тонкопленочных структур в вакууме, осаждение толстых пленок различных материалов с высокими скоростями в вакууме, вакуумное технологическое оборудование.

Все статьи автора