Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52 на установке МВТУ-11-1
Авторы: Макарова М.В., Мартыненко М.А., Бабурин А.С., Моисеев К.М.
Опубликовано в выпуске: #8(44)/2015
DOI: 10.18698/2308-6033-2015-8-1434
Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технология машиностроения
Рассмотрена смоделированная в программном комплексе SolidWorks магнитная система жидкофазного магнетрона НМСА-52, смонтированного и запущенного на установке МВТУ-11-1. Приведено сравнение двух вариантов магнитной системы. Ряд экспериментов по запуску магнетрона проведен с различными вариациями мишени и разными условиями горения разряда. Определены лучшие режимы работы при запуске с тиглем и мишенью для жидкофазного распыления для новой магнитной системы. Анализ полученных результатов подтвердил необходимость продолжения работы по выведению магнетрона на жидкофазный режим с использованием блока увеличенной мощности.
Литература
[1] Инструкция блока питания URL: http://apelvac.com/f/37/92/Manual%20APEL-M-3PDC.pdf (дата обращения 14.06.2015).
[2] Войнов Р.Ю., Третьяков Р.С., Талаева Ю.С. Исследование энергопотребления диодных распылительных систем с твердым и жидким катодом. Томск, Томский политехнический университет, 2009, с. 3.
[3] Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Москва, Изд-во Аверс, 2008, 244 с.
[4] Макарова М.В., Бабурин А.С. Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА50 на установке МВТУ-11-1. [Электронный ресурс]. Всерос. науч.-техническая конференция "Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии": материалы конференции, 7-10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана. Москва, ООО "КванторФорм", 2015. URL: http://studvesna.ru/?go=articles&id=1234 (дата обращения 14.06.2015).
[5] Макарова М.В., Бабурин А.С. Измерение и моделирование магнитной системы жидкофазного магнетрона НМСА-50. [Электронный ресурс]. Всероссийская научно-техническая конференция "Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии": материалы конференции, 7-10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана. Москва, ООО "КванторФорм", 2015. URL: http://studvesna.ru/?go=articles&id=1237 (дата обращения 14.06.2015).