Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических…
1
УДК 531.715.1
Оптическая система интерферометра для контроля
формы выпуклых сферических поверхностей
большого диаметра на базе вогнутого
сферического зеркала и зеркала Манжена
© Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Предложена новая оптическая система лазерного интерферометра для бескон-
тактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхно-
стей без снятия с планшайбы станка. Рабочий волновой фронт формируется объ-
ективом, состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1 400 мм
и шести сменных зеркал Манжена, диаметры которых лежат в диапазоне значе-
ний 20…150 мм. Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе
лучей не превышает 0,04 длины волны He–Ne-лазера. Эталонный волновой фронт
образуется при отражении светового пучка от вогнутой сферической поверхно-
сти зеркала Манжена.
Ключевые слова:
интерферометр, производственный контроль, форма поверхно-
сти, оптическая поверхность, сферическая поверхность, большой диаметр.
В работе [1] предложена оптическая система интерферометра,
предназначенного для контроля формы выпуклых сферических по-
верхностей в процессе их производства. Отличительная особенность
такого интерферометра состоит в том, что оптическая ось его изме-
рительной ветви ориентирована вертикально. Это обеспечивает бес-
контактный контроль формы крупногабаритных выпуклых сфериче-
ских поверхностей оптических деталей без их снятия с планшайбы
станка.
Эксплуатационным недостатком предложенного интерферометра
является значительное экранирование центральной зоны контролиру-
емой поверхности элементами осветительно-приемной части интер-
ферометра. Однако эту зону можно проконтролировать либо стан-
дартным пробным стеклом, либо с помощью контактного интерфе-
рометра ЮС-170 [2], в состав которого входят пробные стекла
диаметром 220 мм.
Цель данной работы — разработка новой оптической системы
интерферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сфе-
рических поверхностей в процессе их производства. Новый интерфе-
рометр позволяет значительно расширить диапазон типоразмеров
контролируемых за один прием поверхностей по сравнению с диапа-
