Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
2
зоном, охватываемым с помощью ин-
терферометра, предложенного в работе
[1]. В новом интерферометре значи-
тельно уменьшена неконтролируемая
зона за счет выноса осветительно-ре-
гистрирующей части интерферометра
из хода лучей рабочего пучка.
Оптическая система нового интер-
ферометра приведена на рис. 1. Моно-
хроматический световой пучок, выхо-
дящий из He-Ne-лазера
1
(длина волны
λ
= 0,6328 мкм), расширяется коллими-
рующей системой
2
. Внутри этой си-
стемы образуется светящаяся точка
А
,
которая является точечным источником
интерферометра. Далее излучение про-
ходит через наклонные полупрозрач-
ные пластины
3
и
4
и фокусируется
безаберрационным объективом
5
в точ-
ку
А
′
, которая является вершиной го-
моцентрического пучка лучей. Гомо-
центрический световой пучок направ-
ляется к зеркалу Манжена
6
. Центр
C
Э
кривизны первой по ходу лучей по-
верхности Э зеркала Манжена совмещен с точкой
А
′
, поэтому лучи
падают на эту поверхность по нормалям. Отраженные от поверхно-
сти лучи формируют эталонный волновой фронт, прошедшие через
поверхность лучи отражаются от второй поверхности зеркала Ман-
жена и, преломившись в обратном ходе на поверхности Э, направля-
ются к сферическому зеркалу
9
.
Крупногабаритное вогнутое сферическое зеркало фокусирует
световой пучок в центр кривизны контролируемой поверхности К
детали
8
, обеспечивая нормальное падение лучей на эту поверхность.
Контролируемая деталь располагается на планшайбе
7
станка.
Оптическая система интерферометра (см. рис. 1) построена таким
образом, что фокусирующий объектив измерительной ветви состоит
из зеркала Манжена и сферического зеркала. Именно эти два элемен-
та образуют квазиидеальный сферический волновой фронт, который
представляет собой виртуальное пробное стекло, накладываемое на
контролируемую поверхность. Остаточные аберрации фокусирующе-
го объектива измерительной ветви вносят в рабочий волновой фронт
искажения, которые следует рассматривать как погрешности вирту-
ального пробного стекла. При этом вид рабочей интерференционной
Рис. 1.
Оптическая система
интерферометра
