Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических…
7
1. Интерферометр обеспечивает бесконтактный контроль формы
выпуклых сферических поверхностей оптических деталей, числовые
апертуры которых не превышают 0,285. Радиусы кривизны контро-
лируемых поверхностей могут достигать 6 000 мм.
2. Оптическая ось интерферометра ориентирована вертикально,
что обеспечивает возможность контроля формы поверхностей опти-
ческих деталей без их снятия с планшайбы станка.
3. Широкий диапазон типоразмеров контролируемых поверхно-
стей достигается за счет применения в измерительной ветви интер-
ферометра фокусирующего объектива, состоящего из стационарного
вогнутого сферического зеркала и шести сменных зеркал Манжена,
содержащих эталонную поверхность.
4. Диаметры сменных зеркал Манжена не превышают 150 мм,
материал — оптическое бесцветное стекло наиболее употребитель-
ных марок. Вогнутая эталонная поверхность каждого из зеркал Ман-
жена не только формирует эталонный волновой фронт, но и исполь-
зуется для правильного позиционирования каждого зеркала относи-
тельно вершины гомоцентрического пучка лучей, сформированного
безаберрационным объективом осветительно-приемной части интер-
ферометра. Особенность оптической системы интерферометра состо-
ит в том, что объектив должен перемещаться вдоль оптической оси
для совмещения его заднего фокуса с центром кривизны эталонной
поверхности каждого из зеркал Манжена.
5. В центре контролируемой поверхности образуется неконтро-
лируемая зона, диаметр которой определяется только зеркалом Ман-
жена и его оправой. Элементы осветительно-приемной части интер-
ферометра выведены за пределы рабочего пучка лучей, поэтому они
не участвуют в создании НЗ.
6. Основным недостатком предлагаемой оптической системы ин-
терферометра, по мнению авторов, является необходимость изготов-
ления высокоточного вогнутого сферического зеркала диаметром
1 400 мм.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л., Дуденкова Е.А. Оптическая система интерфе-
рометра для измерения и контроля формы выпуклых сферических поверх-
ностей большого диаметра.
Инженерный журнал: наука и инновации
,
2013, вып. 1. URL:
(дата
обращения 28.10.2013).
[2] Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. Окатов М.А., ред. Справочник
технолога-оптика. Санкт-Петербург, Политехника, 2004, 679 с.
Статья поступила в редакцию 03.07.2013
