Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
6
верхности от сферического зеркала;
d
в
—
толщина воздушного про-
межутка между сферическим зеркалом и зеркалом Манжена;
s
′
—
удаление центра кривизны эталонной поверхности от самой поверх-
ности;
D
З
,
D
М
— световые диаметры сферического зеркала и зеркала
Манжена;
σ
,
σ′
— передний и задний апертурные углы крайних лу-
чей, идущих в измерительной ветви;
l
0
—
остаточная волновая абер-
рация в измерительной ветви при автоколлимационном ходе лучей;
r
К
max
—
максимальный радиус кривизны выпуклой сферической по-
верхности, контролируемой в каждом из диапазонов; sin
σ
НЗ
—
чис-
ловая апертура неконтролируемой зоны (НЗ).
Рис. 3.
Обобщенная схема фокусирующего объектива интерферометра
Расчетные значения остаточных волновых аберраций любого из
вариантов фокусирующего объектива малы. При автоколлимацион-
ном ходе лучей они не превышают 0,04
λ
(
λ
— длина волны исполь-
зуемого излучения). Поэтому данный интерферометр позволит
надежно выявлять погрешности формы выпуклых сферических по-
верхностей высотой (или глубиной) более 0,1 интерференционной
полосы.
Расчеты диаметров НЗ, выполненные для реальных выпуклых
сферических поверхностей, показали, что они не превышают 130 мм.
Поскольку неконтролируемые зоны расположены в центре поверхно-
сти, то информацию о погрешностях формы центральной части вы-
пуклой поверхности можно получить путем наложения обычного
пробного стекла. Такая операция выполняется в любом случае с це-
лью измерения радиуса кривизны контролируемой поверхности.
Анализ предложенной оптической системы интерферометра на
базе стационарного сферического зеркала и сменной линзы Манжена
позволяет сделать следующие выводы.
