Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических…
5
им точки расположены на
диаграмме выше горизон-
тальных линий). Для кон-
троля этих трех сфер можно
использовать метод пере-
наложений, применяемый в
интерферометре
ЮС-170.
Преимущество предлагаемо-
го интерферометра по срав-
нению с интерферометром
ЮС-170 заключается в том,
что в данном случае кон-
троль бесконтактный.
В таблице приведены параметры контролируемых поверхностей
шести вариантов измерительной ветви интерферометра, в которых
фокусирующий объектив состоит из стационарного сферического
зеркала диаметром
D
З
= 1 400 мм с радиусом кривизны
r
З
= 2 000 мм и
шести сменных зеркал Манжена. Каждый из фокусирующих объек-
тивов охватывает один из шести диапазонов типоразмеров контроли-
руемых поверхностей.
Параметр
Номер варианта
1
2
3
4
5
6
s
, мм
–2 300
–2 500
–3 000
–3 500
–5 000
–7 500
d
в
, мм
–1 742
–1 606
–1 390
–1 215
–1 039
–960
s
′
, мм
53
160
273
968
851
1 082
sin
σ
–0,285
–0,242
–0,178
–0,162
–0,08
–0,027
sin
σ′
0,16
0,129
0,133
0,07
0,075
0,038
D
З
, мм
1 372
1 160
1 073
1 114
890
790
D
М
, мм
21
44
80
146
134
81
l
0
0,04
0,04
0,036
0,034
0,036
0,034
r
К max
,
мм
580
890
1 600
2 280
3 950
6 410
sin
σ
НЗ
–0,004
–0,025
–0,05
–0,075
–0,017
–0,006
На рис. 3 приведена обобщенная схема фокусирующего объекти-
ва измерительной ветви интерферометра. В таблице и на рис. 3 К —
контролируемая поверхность; Э — эталонная поверхность; З — по-
верхность сферического зеркала;
C
К
—
центр кривизны контролиру-
емой поверхности;
C
Э
— центр кривизны эталонной поверхности ин-
терферометра;
s —
удаление центра кривизны контролируемой по-
Рис. 2.
Точечная диаграмма (sin
σ
К
,
r
К
—
числовая апертура и радиус кривизны
контролируемой зоны)
