5
Исследование границы металлизации микроэлектронных структур ...
Выводы.
Конфокальная микроскопия может быть использована для
получения метода определения напряжений благодаря искажению ре-
льефа вблизи металлизации пленки на подложках. Также конфокальная
микроскопия позволяет определить ориентацию подложки, подвержен-
ной воздействию анизотропного травителя.
ЛИТЕРАТУРА
[1] Проспект фирмы NanoFocus AG [Электрон. ресурс]
[2] Информационный портал
Статья поступила в редакцию 16.07.2013
Ссылку на эту статью просим оформлять следующим образом:
Захаров П.С., Зайончковский В.С., Баскаков Е.Б. Исследование границы метал-
лизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии.
Ин-
женерный журнал: наука и инновации
, 2013, вып. 6. URL:
/
nano/hidden/808.html
Захаров Павел Сергеевич
окончил КФ МГТУ по специальности «Микроэлек-
троника и твердотельная электроника» в 2013 г. Область научных интересов: магне-
тронное распыление материалов, переключение проводимости в тонких пленках ок-
сида кремния. е-mail:
Зайончковский Вячеслав Станиславович
окончил Харьковский авиационный
институт в 1972 г. Канд. физ.-мат. наук, доцент кафедры «Материаловедение» КФ
МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область научных интересов: технология изготовления ин-
тегральных схем, физика твердого тела. е-mail:
Баскаков Евгений Борисович
— студент КФ МГТУ им. Н.Э. Баумана. Область
научных интересов: вакуумное напыление магнитных и углеродных покрытий. е-mail:
Рис. 8.
Профиль сечения слоя никеля, напыленного на подложку
монокристаллического кремния
