1
УДК 53.086
Исследование границы металлизации
микроэлектронных структур с помощью
конфокальной микроскопии
© П.С. Захаров, В.С. Зайончковский, Е.Б. Баскаков
КФ МГТУ им. Н.Э. Баумана, г. Калуга, 248600, Россия
Новым методом исследования поверхности твердых тел является конфокальная
микроскопия, которая позволяет резко увеличить точность измерений неровности
поверхности в вертикальном направлении, при этом разрешение в горизонтальном
направлении остается на уровне традиционных оптических микроскопов. Такое со-
отношение в разрешении в двух взаимно перпендикулярных направлениях позволяет
получать новую, достаточно уникальную информацию, которая недоступна даже
при использовании сканирующей электронной микроскопии с высоким разрешени-
ем. В статье представлены микрофотографии краев металлизации на подложках
арсенида галлия и кремния. Показано, что вблизи края метод конфокальной микро-
скопии позволяет выявить изменения рельефа, связанные с упругими деформациями
и металлической пленки, и подложки. Более того, используемый метод позволяет
определить кристаллографическую ориентацию подложки.
Ключевые слова:
конфокальная микроскопия, упругие деформации, кристаллографи-
ческая ориентация, шероховатость.
Введение.
С помощью конфокального микроскопа Nanofocus, в
модификации «
surf mobile
»
[1], были изучены три различных образца.
Данный микроскоп имеет разрешение в вертикальном направлении
(
z
-направлении) 2 нм, при разрешении в
x-
,
y
-направлениях — 0,7 мкм,
при использовании объектива с увеличением 50
х
и числовой апертуре
0,8. Такая разница в разрешении в двух взаимно перпендикулярных
направлениях позволяет получать новую и достаточно уникальную ин-
формацию о поверхности.
Микроскоп предоставлен Калужским лазерным инновационно-тех-
нологическим центром — центром коллективного пользования, г. Об-
нинск, при помощи Министерства развития информационного обще-
ства и инноваций Калужской области и Агентства инновационного
развития Калужской области (АИРКО).
Сплав серебра с германием на арсениде галлия.
В качестве при-
меров можно привести снимки сечения границы раздела термически
напыленного слоя металлического сплава Ag-Ge (5:1 по массе) на
подложку арсенида галлия. Изготовление образцов выполнено в уста-
новке вакуумного напыления УВН-2М при давлении остаточных газов
