8
Я.Б. Волкова, Е.В. Резчикова, В.А. Шахнов
нием
f
= 200, позволяющий разместить зонд с системой регистрации СЗМ
изображения над образцом и обеспечивающий разрешение в 400 нм.
Использование TERS кантилевера позволяет увеличить разрешаю-
щую способность за счет усечения
рассеиваемого лазерного излуче-
ния, поэтому в данной системе
можно обеспечить разрешение по-
рядка 200 нм. Конфокальность оп-
тической части измерительного
комплекса достигается за счет оп-
товолокна, выступающего в каче-
стве пин-холла, расположенного
после системы фильтрации излуче-
ния. Полученные спектральные ха-
рактеристики КРС регистрирова-
лись на ПЗС-камере.
Для проведения измерений был
выбран режим со временем нако-
пления сигнала в каждой точке,
равным 1 с, с длиной волны воз-
буждающего излучения 532 нм,
мощностью ~3,5 мВт на дифракци-
онной решетке 600/600 линий.
Результаты и обсуждение.
В ре-
зультате проведенных исследований
была изучена серия структурирован-
ных пленок графена, полученных со-
гласно технологии, описанной в ста-
тье. Микрофотография исследован-
ных структур приведена на рис. 6.
Она получена с использованием све-
тофильтра, поскольку в прямом от-
раженном свете графеновые структу-
ры оптически прозрачны.
На рис. 7 приведено изображе-
ние области № 1, выделенной на
микрофотографии, полученное ме-
тодом «полуконтактной» АСМ. На
рис. 8 приведено более детальное
АСМ-изображение меньшей области
сканирования 4×4 мкм. Использова-
Рис. 6.
Микрофотография образца
тестовых структур 100×100 мкм
Рис. 7.
АСМ-изображение тестовой
структуры 11×11 мкм
Рис. 8.
АСМ-изображение тестовой
структуры 4×4 мкм
