5
Конструкторско-технологическое проектирование ...
висимое варьирование и не зависящие от технологического процесса.
Такими параметрами являются номинальные размеры элементов гете-
роструктуры и топологии прибора. В результате оптимального выбора
указанных параметров, с одной стороны, увеличивается вероятность
попадания показателей назначения устройства в заданные разработчи-
ком допуски, а с другой — снижается чувствительность гетерострук-
туры к технологическим погрешностям и процессам деградации.
Таким образом, решается комплексная задача обеспечения и опти-
мальной увязки основных показателей качества нелинейных преобразо-
вателей радиосигналов СВЧ устройств на основе наноразмерных много-
слойных полупроводниковых резонансно-туннельных гетерострук-
тур — показателей назначения, их точности, технологичности и надеж-
ности. Схема обеспечения основных показателей качества радиотехни-
ческих устройств на основе наноразмерных многослойных полупрово-
дниковых резонансно-туннельных гетероструктур показана на рис. 2.
Задача обеспечения надежности партии нелинейных преобразова-
телей радиосигналов СВЧ устройств на базе наноразмерных много-
слойных полупроводниковых резонансно-туннельных гетероструктур
ставится следующим образом. Целевая функция:
( , ,
)
P t Y
ïÑÐ
Ô
— ве-
роятность выполнения заданных функций партией СВЧ устройств, где
( ),
Y q X X
— вектор параметров конструкции радиотехнического СВЧ
устройства и наноразмерной полупроводниковой резонансно-туннель-
Рис. 2.
Схема обеспечения основных показателей качества нелинейных
преобразователей радиосигналов СВЧ устройств на основе наноразмерных
многослойных полупроводниковых резонансно-туннельных гетероструктур