ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. «Приборостроение». 2012
56
среды выбрано равным 10
3
Па, что позволяет использовать стандарт-
ные корпуса микросхем.
Выводы.
Предложен принципиально новый НТЭМП с АЭЭ для
измерения тепловых полей малой интенсивности терагерцовой и ИК-
областей спектра путем преобразования его в механическую дефор-
мацию биметаллической пластины, установленной на микроминиа-
тюрной опоре, с последующим преобразованием этой деформации в
электрический сигнал с помощью АЭЭ.
Разработан и экспериментально проверен способ локальной ини-
циализации вискера по переменному току после окончательного фор-
мирования механической структуры ЧЭ НТЭМП, что позволяет зна-
чительно снизить трудоемкость и повысить процент выхода годных
изделий.
Проведенные исследования ВАХ НТЭМП с АЭЭ показали, что
ток эмиссии пропорционален
/
э
.
m n
U
При этом во всех случаях АЭЭ
m
= 1…7,
n
= 1; 2.
Работа проведена при финансовой поддержке Министерства
образования и науки РФ в рамках государственного контракта от
13 сентября 2011 г. № 16.523.12.3006.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. Ф р а й д е н Д ж. Современные датчики: справочник. М.: Техносфера, 2006.
592 с.
2. Пат. РФ № 2447411. Способ изменения температуры, термоэлектронно-механи-
ческий преобразователь с автоэлектронной эмиссией и способ его изготовления
/ В.А. Солдатенков, Ю.К. Грузевич, В.М. Ачильдиев. Опубл. 10.04.2012.
3. К у т а т е л а д з е С. С. Основы теории теплообмена. М.: Атомиздат, 1979.
415 с.
4. Е р е м е н к о С. Ю. Методы конечных элементов в механике деформируемого
твердого тела. Харьков: Основа, 1991. 272 с.
5. Е г о р о в Н. В., Ш е ш и н Е. П. Автоэлектронная эмиссия. Принципы и при-
боры. М.: Издательский дом «Интеллект», 2011. 704 с.
6. С л и в к о в И. Н., М и х а й л о в В. И., С и д о р о в А. И., Н а с т ю х а А. И.
Электрический пробой и разряд в вакууме. М. : Атомиздат, 1966. 298 с.
7. Д ю ж е в Н. А., Т и ш и н Ю. П. Молибденовая и кремниевая технология
плоских экранов. М.: Электроника. № 1. 2001. С. 50–53.
8. Т а т а р е н к о Н. И., К р а в ч е н к о А. Ф. Автоэмиссионные структуры и
приборы на их основе. М.: Физмалит, 2006. 192 с.
9. П е с т о в Ю. И., М а к и н В. С. Лазерно-индуцированное формирование ко-
нусообразных выступов на поверхности сверхтугоплавких металлов // Оптиче-
ский журнал. 2008. Т. 75. № 6. С. 34–42.
10. Г а в р и л о в С. А., Р о щ и н В. М., Ш е в я к о в В. И. Наноструктуры и эле-
менты наноэлектроники на базе метода локального зондового окисления //
Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю.А.Чаплыгина. М.: Техносфера,
2005. С. 77–96.
Статья поступила в редакцию 28.09.2012.
1,2,3,4,5,6,7 8